由于彻底的低噪音设计和精密的加工,从而达到了低噪音化。
为使日常保养工作方便容易,油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为延长使用油的补充期,采用了2.5~4.0升可变油量方式。
采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式。选用油雾过滤器、油回收装置及耐热密封件后,就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
• 镀膜、溅射、离子镀。
• 气体置换、充填、真空隔热。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
• 分析仪器、检漏装置。
• 真空包装、真空吸附。
• 搬运、真空成形、真空铸造等。
技术参数
外形尺寸图
抽气速率曲线
* 1 皮拉尼真空计的测定值(如以麦氏真空计测定,则为6.7×10-2Pa)。* 2 G.V气镇阀的缩写。
TMN151/TMN...
R-7真空泵油
Gatch系列冷阴极...
Gatch系列皮拉尼...
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