YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成,用于生产、研究设备的真空排气机组。
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
• 无油、干燥、清洁。
• 在低温领域的均热化。
• 大抽速,可以缩短排气时间。
• 优良的耐腐蚀性。
• 低噪音、低震动。
技术参数
抽气速率曲线
TMN151/TMN...
R-7真空泵油
Gatch系列冷阴极...
Gatch系列皮拉尼...
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